器件物理 · 仿真

真空 MOSFET 传感

通过器件结构设计、多物理场建模与仿真验证,探索半导体真空传感方案。

研究汇报中的真空传感器件工作原理。
研究汇报中的真空传感器件工作原理。

器件概念

项目探索将半导体器件的放大特性与压力敏感结构结合的微型真空计。

我的工作

在国家级大学生创新项目中,我参与了 COMSOL 模型开发、结构优化、仿真验证与模型集成。

授权专利

共同发明人:《一种电容式半导体微型真空计及真空检测方法》。中国授权专利 CN120352074B,授权公告日期为 2025 年 9 月 26 日。